光热偏转光谱(NANOUPE-PDS-1)

湖南纳昇公司全新研发的全自动化高精度光热偏转光谱系统NANOUPE-PDS-1是一种基于光热效应建立的无损光谱检测技术。相较于其他半导体薄膜缺陷检测技术,NANOUPE-PDS-1具有许多突出的优点,包括高灵敏度、无需样品预处理、对光散射不敏感、可实现空间高分辨率和非接触实时测量等。
NANOUPE-PDS-1系统可以实现不同带隙半导体材料微弱吸收的测量、带隙测算、电荷转移态分析以及浅层、深层缺陷定位及定量分析。通过自主研发的光热偏转光路构型和软件算法程序,我们的系统能够实现最小精度为0.7°的偏转校准角度,并达到0.1nm的光谱检测波长分辨率。最终,我们可以实现最高10-4的高灵敏度薄膜吸收信号检测,可以应对半导体材料内部的杂质追踪、缺陷定位以及缺陷态量化分析的重大技术挑战。

 

 

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